Aplicable ao sensor de presión common rail de combustible Passat 06E906051K

1. Un método para formar un sensor de presión, que comprende:

Proporcionar un substrato semicondutor, no que se forman unha primeira capa dieléctrica entre capas, unha primeira capa dieléctrica entre capas e unha segunda capa dieléctrica entre capas no substrato semicondutor.

Unha placa de electrodo inferior na primeira capa dieléctrica entre capas, un primeiro electrodo mutuo situado na mesma capa que a placa do electrodo inferior e separado.

Capas de conexión;

Formando unha capa de sacrificio sobre a placa polar inferior;

Formando unha placa de electrodo superior na primeira capa dieléctrica entre capas, na primeira capa de interconexión e na capa sacrificial;

Despois de formar a capa de sacrificio e antes de formar a placa superior, na primeira capa de interconexión

Formando unha ranura de conexión e enchendo a ranura de conexión coa placa superior para conectarse eléctricamente coa primeira capa de interconexión;Ou,

Despois de formar a placa de electrodo superior, fórmanse ranuras de conexión na placa de electrodo superior e na primeira capa de interconexión, que

Formando unha capa condutora que conecta a placa de electrodo superior e a primeira capa de interconexión na ranura de conexión;

Despois de conectar eléctricamente a placa superior e a primeira capa de interconexión, elimina a capa de sacrificio para formar unha cavidade.

2. Método para formar un sensor de presión segundo a reivindicación 1, no que a primeira capa

O método para formar a capa de sacrificio sobre a capa dieléctrica entre capas comprende os seguintes pasos:

Depositar unha capa de material sacrificial na primeira capa dieléctrica intercapa;

Modelar a capa de material de sacrificio para formar unha capa de sacrificio.

3. Método para formar o sensor de presión segundo a reivindicación 2, no que se emprega a fotolitografía e o gravado.

A capa de material de sacrificio está modelada mediante un proceso de gravado.

4. Método para formar un sensor de presión segundo a reivindicación 3, no que a capa de sacrificio

O material é carbono amorfo ou xermanio.

5. Método para formar un sensor de presión segundo a reivindicación 4, no que a capa de sacrificio

O material é carbono amorfo;

Os gases de gravado utilizados no proceso de gravado da capa de material sacrificial inclúen O2, CO, N2 e Ar;

Os parámetros no proceso de gravado da capa de material de sacrificio son: o intervalo de fluxo de O2 é de 18 SCCM ~ 22 SCCM e o caudal de CO é do 10%.

O caudal varía de 90 SCCM a 110 SCCM, o caudal de N2 varía de 90 SCCM a 110 SCCM e o caudal de Ar.

O rango é de 90 SCCM ~ 110 SCCM, o rango de presión é de 90 mtor ~ 110 mtor e a potencia de polarización é

540 W ~ 660 W.