Sensor de presión del motor 2CP3-68 1946725 para excavadora Carter

Un método para preparar un sensor de presión, caracterizado por comprender os seguintes pasos:

S1, proporcionando unha oblea cunha superficie traseira e unha superficie frontal;Formando unha tira piezoresistiva e unha zona de contacto moi dopada na superficie frontal da oblea;Formando unha cavidade profunda de presión gravando a superficie posterior da oblea;

S2, pegando unha folla de apoio na parte traseira da oblea;

S3, fabricando buratos de chumbo e fíos metálicos na parte frontal da oblea e conectando tiras piezoresistivas para formar unha ponte de Wheatstone;

S4, depositando e formando unha capa de pasivación na superficie frontal da oblea, e abrindo parte da capa de pasivación para formar unha zona de almofada metálica.2. Método de fabricación do sensor de presión segundo a reivindicación 1, no que S1 comprende especificamente os seguintes pasos: S11: proporcionar unha oblea cunha superficie posterior e unha superficie frontal, e definir o grosor dunha película sensible á presión sobre a oblea;S12: a implantación iónica úsase na superficie frontal da oblea, as tiras piezoresistivas son fabricadas mediante un proceso de difusión a alta temperatura e as rexións de contacto están fortemente dopadas;S13: depositar e formar unha capa protectora na superficie frontal da oblea;S14: gravar e formar unha cavidade profunda de presión na parte posterior da oblea para formar unha película sensible á presión.3. O método de fabricación do sensor de presión segundo a reivindicación 1, no que a oblea é SOI.

En 1962, Tufte et al.fabricou por primeira vez un sensor de presión piezoresistivo con tiras piezoresistivas de silicio difuso e estrutura de película de silicio e comezou a investigación sobre o sensor de presión piezoresistivo.A finais da década de 1960 e principios dos 70, a aparición de tres tecnoloxías, a saber, a tecnoloxía de gravado anisótropo de silicio, a tecnoloxía de implantación iónica e a tecnoloxía de enlace anódico, trouxo grandes cambios no sensor de presión, que desempeñaron un papel importante na mellora do rendemento do sensor de presión. .Desde a década de 1980, co desenvolvemento da tecnoloxía de micromecanizado, como o gravado anisótropo, a litografía, o dopaxe por difusión, a implantación iónica, a unión e o revestimento, o tamaño do sensor de presión reduciuse continuamente, a sensibilidade mellorouse e a saída é alta. o rendemento é excelente.Ao mesmo tempo, o desenvolvemento e a aplicación da nova tecnoloxía de micromecanizado fan que o espesor da película do sensor de presión se controle con precisión.