O sensor de presión de semicondutores de uso común usa oblea de silicio de tipo N como substrato.En primeiro lugar, a oblea de silicio convértese nunha parte elástica que soporta tensións cunha certa xeometría.Na parte que soporta tensións da oblea de silicio, fórmanse catro resistencias de difusión de tipo P ao longo de diferentes direccións de cristal, e despois fórmase unha ponte de Wheatstone de catro brazos con estas catro resistencias.Baixo a acción da forza externa, os cambios de valores de resistencia convértense en sinais eléctricos.Esta ponte de pedra de trigo con efecto de presión é o corazón do sensor de presión, que se adoita chamar ponte piezoresistiva (como se mostra na Figura 1).As características da ponte piezoresistiva son as seguintes: ① os valores de resistencia dos catro brazos da ponte son iguais (todos r0);② O efecto piezoresistivo dos brazos adxacentes da ponte é igual en valor e oposto en signo;③ O coeficiente de temperatura de resistencia dos catro brazos da ponte é o mesmo e están sempre á mesma temperatura.Na fig.1, R0 é o valor de resistencia sen tensión a temperatura ambiente;RT é o cambio causado polo coeficiente de temperatura da resistencia (α) cando a temperatura cambia;Υ Rδ é o cambio de resistencia causado pola deformación (ε);A tensión de saída da ponte é u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (ponte fonte de corrente constante).

Onde I0 é a corrente da fonte de corrente constante e e é a tensión da fonte de tensión constante.A tensión de saída da ponte piezoresistiva é directamente proporcional á tensión (ε) e non ten nada que ver coa RT causada polo coeficiente de resistencia da temperatura, o que reduce moito a deriva da temperatura do sensor.O sensor de presión de semicondutores máis utilizado é un sensor para detectar a presión do fluído.A súa estrutura principal é unha cápsula feita de silicio monocristalino (como se mostra na figura 2).O diafragma faise nunha cunca, e o fondo da cunca é a parte que soporta a forza externa e a ponte de presión está feita no fondo da cunca.O pedestal do anel está feito do mesmo material de cristal único de silicio, e despois o diafragma está unido ao pedestal.Este tipo de sensor de presión ten as vantaxes de alta sensibilidade, pequeno volume e solidez, e foi amplamente utilizado na aviación, navegación espacial, instrumentos de automatización e instrumentos médicos.